- Systèmes de dépôt par pulvérisation
Format de table
Les systèmes de dépôt par pulvérisation de format de table de Plasmionique sont conçus pour…
Les systèmes de dépôt par pulvérisation cathodique sont très polyvalentes et sont équipées des cathodes de pulvérisation exclusives de Plasmionique Inc. Ces systèmes sont conçus pour offrir une efficacité élevée d’utilisation de la cible et sont disponibles en configurations magnétiques équilibrées et déséquilibrées, sous forme circulaire ou rectangulaire.
Notre gamme de systèmes de dépôt par pulvérisation est une gamme de dépôt par pulvérisation magnétron polyvalents pour le revêtement de couches minces. Les tailles typiques des cibles peuvent varier d’un à quatre pouces de diamètre et peuvent être utilisées en modes RF, DC ou DC pulsé. Les géométries des magnétrons peuvent être équilibrées ou déséquilibrées. La rotation du substrat, le chauffage et le biaisage sont utilisés pour contrôler le processus de dépôt par pulvérisation.
Ces systèmes peuvent inclure une source de plasma inductivement couplé à distance pour le dépôt par pulvérisation réactive améliorée. La rotation du substrat, le chauffage, le biais et les mouvements axiaux contrôlés par ordinateur sont des options disponibles sur tous les systèmes.
Ce produit est disponible dans les formats suivants:
Les systèmes de dépôt par pulvérisation de format de table de Plasmionique sont conçus pour…
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Les systèmes de dépôt par pulvérisation de format standard de Plasmionique sont conçus pour une…
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