- Réacteurs MWPlasma / MWPECVD
Format de table
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD de format de table de Plasmionique sont conçus pour servir…
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Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD de Plasmionique utilisent différents modes de couplage des micro-ondes pour générer un plasma, notamment les cavités en mode unique, les cavités en mode multiple, les ondes stationnaires, les ondes de surface et les mécanismes de résonance cyclotron électronique (ECR).
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD utilisent différents modes de couplage des micro-ondes pour générer un plasma, notamment les cavités en mode unique, les cavités en mode multiple, les ondes stationnaires, les ondes de surface et les mécanismes de résonance cyclotron électronique (ECR).
Pour les opérations à basse pression (mbar ou en dessous), le couplage ECR offre le couplage le plus efficace. D’autres mécanismes de couplage peuvent être utilisés pour produire du plasma jusqu’à la pression atmosphérique.
Ce produit est disponible dans les formats suivants:
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD de format de table de Plasmionique sont conçus pour servir…
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD compacts de Plasmionique sont conçus pour servir de modes polyvalents…
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD de format standard de Plasmionique sont conçus pour servir comme…