Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD utilisent divers modes de couplage micro-ondes pour générer un plasma, incluant la cavité mode unique, la cavité mode multiple, l’onde stationnaire, les ondes de surface et les mécanismes de résonance cyclotronique électronique (ECR).
Les réacteurs MWPlasma / MWPECVD de format compact de Plasmionique combinent harmonieusement l’efficacité d’un format de table avec l’adaptabilité et la capacité de mise à niveau de nos modèles plus grands.
Les systèmes mesurent généralement 46 pouces de hauteur, 30 pouces de largeur et 25 pouces de profondeur, et présentent les caractéristiques suivantes :
- Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 à 10 pouces et une hauteur d’environ 10 pouces.
- Système de pompage avec une vitesse nominale de 80 à 300 L/s. Pression de base allant du bas 10-6 Torr au moyen 10-7 Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
- Générateur MW à semi-conducteurs programmable de 200 W ou 450 W avec son circuit d’adaptation automatique. Générateur contrôlé par ordinateur.
- Possibilité d’inclusion d’une à trois sources de plasma ECR refroidies à l’eau (basse pression) ou collisionnelles (haute pression).
- Supports de substrats rotatifs avec option de refroidissement à l’eau ou chauffage jusqu’à 300 °C et/ou biaisés. Tous les circuits de chauffage sont régulés via une boucle PID entièrement configurable avec capacités d’autoréglage des paramètres PID, montée en température et limitation de sortie.
- Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
- Incorporation de jusqu’à quatre lignes de gaz pour les procédés et inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.
Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. De plus, tous les systèmes ont une option d’intégration de la spectroscopie optique pour la surveillance et le contrôle des processus.
Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 15 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.
Élevez vos capacités de traitement de surface avec les systèmes compacts de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.
