Ensembles de montures de substrat

La conception de notre porte-substrat intégrera les caractéristiques qui répondent à vos besoins spécifiques, notamment :

• La taille et la forme de l’échantillon
• La plage de température de fonctionnement requise pour le substrat
• L’environnement de fonctionnement, qui influence la sélection des matériaux pour le support du substrat et particulièrement les éléments chauffants, si présents.
• La polarisation RF, DC et DC pulsé, si nécessaire
• Le mouvement axial, si nécessaire, ainsi que l’amplitude de ce mouvement. Des options manuelles et automatisées sont disponibles.
• Le mouvement rotatif, si nécessaire, incluant une rotation motorisée du porte-substrat avec une vitesse réglable jusqu’à 20 tours par minute (la limite supérieure est définie dans le logiciel et pourrait être plus élevée si la limite est une interface avec le logiciel de contrôle du procédé).
• Des systèmes de caches manuels ou automatisés, ou des systèmes de positionnement de masques d’ombre, si nécessaires.