Les spectromètres compacts de Plasmionique sont des compagnons extrêmement flexibles pour tout système utilisant le plasma pour des applications de dépôt ou de gravure/nettoyage. Ils peuvent être intégrés en tant qu’outil polyvalent de surveillance des processus ou de contrôle des processus.
Tous nos produits sont équipés du logiciel OES Capture, qui offre à l’utilisateur une interface graphique intuitive pour collecter et surveiller les données d’émission spectrale du plasma en traitement. L’ajout d’un refroidissement au détecteur CCD jusqu’à environ -30 °C, utilisant un refroidisseur thermoélectrique, réduit le bruit thermique d’un ordre de grandeur.
Le logiciel a été développé sur National Instruments LabVIEW® et est distribué sous forme d’un programme exécutable 32 bits. OES Capture peut gérer jusqu’à 4 spectromètres USB simultanément. Chaque spectromètre est attribué à une instance distincte du programme OES Capture, permettant un contrôle indépendant de chaque spectromètre.
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