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Systèmes EBeam / évaporation thermique

Les systèmes d’évaporation thermique permettent l’évaporation des métaux, des diélectriques et des matériaux organiques en utilisant des faisceaux électroniques, des bateaux d’évaporation et des cellules d’effusion pour l’application à la déposition de couches minces et à la croissance épitaxiale des matériaux.

Le choix de la méthode d’évaporation dépend principalement de la température de vaporisation du matériau à déposer (basse température (BT) et haute température (HT)).

Méthodes HT:

Bateaux d’évaporation, paniers ou filaments pour les métaux, températures jusqu’à 1800 °C
Évaporateurs à faisceau électronique (sources à poche unique ou multipoche)

Méthodes BT:

Cellule d’effusion à basse température pour les matériaux organiques
Choix des matériaux de creuset et de la plage de température adaptée au matériau
Surveillance précise de la température et contrôle PID
Obturateur avec commande manuelle ou automatique

Matériaux Évaporés

Métaux et diélectriques:

Bateaux choisis en fonction du matériau avec une alimentation électrique dédiée
Faisceau électronique multipoche avec différentes tailles de creuset
Contrôle à rétroaction du taux d’évaporation via un moniteur de taux de dépôt à microbalance à quartz

Organiques:

Utilisé pour les évaporateurs BT
Cellule d’effusion de Knudsen, chauffage résistif à plus de 800 ºC
Matériau du creuset choisi en fonction de votre application
Contrôle PID de la température d’évaporation
Obturateur intégré, manuel ou automatique
Refroidissement optionnel

Produits

Ce produit est disponible dans les formats suivants:

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Format de table

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