Format compact

Les systèmes EBeam / évaporation thermique ont les caractéristiques suivantes :

• Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 pouces jusqu’à 10 pouces et une hauteur d’environ 14 à 16 pouces. Ajout optionnel de chambres avec des portes d’accès plus grandes.
• Station de pompe turbo-moléculaire avec une vitesse de pompage nominale de 80 jusqu’à 300 L/s. Une pression résiduelle dans la gamme du 10⁻⁷ Torr assure une chambre propre sans composants supplémentaires.
• Alimentation contrôlée par ordinateur (0-6 VDC), capable de délivrer jusqu’à 220 A.
• Des chauffages par bateaux métalliques, par paniers et leurs versions revêtues d’alumine, ainsi que par source d’effusion à basse température (BT) peuvent être sélectionnés.
• Les cellules d’effusion à basse température sont équipées de leur propre alimentation indépendante et de volets.
• Un minimum d’une microbalance à cristal de quartz est utilisé pour la mesure de l’épaisseur et le contrôle du taux de dépôt.
• Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
• Inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.

Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 15 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.

Élevez vos capacités de recherche avec les systèmes de format compact de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.