Format de table

Généralement mesurant environ 32 pouces de largeur, 22 pouces de profondeur et 24 pouces de hauteur, ces systèmes ont les caractéristiques suivantes :

• Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 pouces et une hauteur d’environ 14 pouces.
• Station de pompe turbo-moléculaire compacte avec une vitesse de pompage nominale de 80 à 90 L/s. Une pression de base dans le bas 10⁻⁶ Torr jusqu’au moyen 10⁻⁷ Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
• Alimentation des bateaux contrôlée par ordinateur et programmable (0-6 VDC), capable de délivrer jusqu’à 110 A.
• Des chauffages par bateaux métalliques, par paniers et leurs versions revêtues d’alumine, ainsi que par source d’effusion à basse température (BT) peuvent être sélectionnés.
• Les cellules d’effusion à basse température sont équipées de leur propre alimentation indépendante et d’un obturateur (cache).
• Un minimum d’une microbalance à cristal de quartz est utilisé pour la mesure de l’épaisseur et le contrôle du taux de déposition.
• Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
• Inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.

Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 10 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.

Élevez vos capacités de traitement de surface avec les systèmes de format de table de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.