Format de table

Typiquement mesurant environ 32 pouces de largeur, 22 pouces de profondeur et 24 pouces de hauteur, ces systèmes présentent les caractéristiques suivantes :

• Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 pouces et une hauteur d’environ 14 pouces.
• Station de pompage turbo-moléculaire compacte avec une vitesse nominale allant jusqu’à 80 à 90 L/s. Pression de base allant du bas 10-6 Torr au moyen 10-7 Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
• Générateur MW à semi-conducteurs programmable de 200 W ou 450 W avec son circuit d’adaptation automatique interne. Générateur contrôlé par ordinateur.
• Inclusion de sources de plasma ECR refroidies à l’eau (basse pression) ou collisionnelles (haute pression).
• Supports de substrats avec option de refroidissement à l’eau ou chauffage jusqu’à 300 °C. Tous les circuits de chauffage sont régulés via une boucle PID entièrement configurable avec capacités d’auto-réglage des paramètres PID, rampe de température et limitation de sortie.
• Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
• Incorporation de jusqu’à deux lignes de gaz de processus et inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.

Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. De plus, tous les systèmes ont une option d’intégration de la spectroscopie optique pour la surveillance et le contrôle des processus.

Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 10 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.

Élevez vos capacités de traitement de surface avec les systèmes de format de table de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.