Les systèmes de dépôt par pulvérisation cathodique sont très polyvalents et sont équipés des cathodes de pulvérisation exclusives de Plasmionique Inc. Elles sont conçues pour une efficacité élevée d’utilisation des cibles et sont disponibles en configurations magnétiques équilibrées et déséquilibrées, de formes circulaires ou rectangulaires.
Les systèmes de dépôt par pulvérisation cathodique de format rouleau à rouleau de Plasmionique accueillent une vaste gamme de sources, de processus et de fonctionnalités, offrant à vos applications une adaptabilité maximale.
Les systèmes de format rouleau à rouleau de Plasmionique offrent une gamme de fonctionnalités, y compris des capacités de chauffage jusqu’à 800 °C (ou refroidissement par eau), la rotation et la polarisation RF ou DC. Les circuits de chauffage sont régulés par une boucle PID entièrement configurable avec des capacités d’autoréglage des paramètres PID, de montée en température et de limitation de sortie, le tout géré sans effort grâce à notre logiciel convivial PLASMICON.
Les systèmes de format rouleau à rouleau peuvent incorporer jusqu’à huit (8) lignes de gaz de procédé, chacune équipée de contrôleurs de débit massique dédiés et de vannes d’isolation pneumatiques, ainsi qu’une ligne séparée de mise à l’atmosphère de la chambre. Jusqu’à deux (2) lignes d’injection de vapeur de précurseur utilisant des réservoirs à bulleur chauffés peuvent être incluses.
Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. De plus, tous les systèmes ont une option d’intégration de la spectroscopie optique pour la surveillance et le contrôle des processus.
Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 24 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.
Élevez vos capacités de recherche avec les systèmes de dépôt par pulvérisation de format rouleau à rouleau de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.
