Les systèmes de dépôt par pulvérisation sont équipés de cathodes de pulvérisation exclusives de Plasmionique Inc. Ils sont conçus pour une utilisation efficace des cibles et sont disponibles en configurations magnétiques équilibrées et déséquilibrées, en formes circulaires ou rectangulaires.
Les systèmes de dépôt par pulvérisation de format de table de Plasmionique sont conçus pour servir de systèmes polyvalents de déposition de couches minces.
Généralement mesurant environ 32 pouces de largeur, 22 pouces de profondeur et 24 pouces de hauteur, ces systèmes ont les caractéristiques suivantes :
- Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 pouces et une hauteur d’environ 14 pouces.
- Station de pompe turbo-moléculaire compacte avec une vitesse de pompage nominale allant de 80 à 90 L/s. une pression de base du bas 10⁻⁶ Torr au moyen 10⁻⁷ Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
- Alimentation de pulvérisation programmable DC de 500 W ou d’un générateur RF (120 W – 300 W) avec son adaptateur d’impédance automatique. Alimentation contrôlée par ordinateur.
- Inclusion de magnétrons refroidis par eau de différentes tailles allant de 1 pouce (jusqu’à 3 magnétrons), ou de magnétrons uniques de 2 pouces ou 3 pouces.
- Un minimum d’une microbalance à cristal de quartz utilisée pour la mesure de l’épaisseur et le contrôle du taux de déposition.
- Porte-substrats rotatifs avec option de chauffage jusqu’à 300 °C. Tous les circuits de chauffage sont régulés par une boucle PID entièrement configurable avec auto-réglage des paramètres PID, rampe et capacités de limitation de sortie.
- Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
- Incorporation de jusqu’à deux (2) lignes de gaz de procédé et inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.
Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. De plus, tous les systèmes ont une option d’intégration de la spectroscopie optique pour la surveillance et le contrôle des processus.
Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 10 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.
Élevez vos capacités de traitement de surface avec les systèmes de format de table de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.
