Les systèmes de dépôt par pulvérisation de Plasmionique sont très polyvalents, équipés de cathodes de pulvérisation conçues pour une efficacité élevée d’utilisation de la cible. Ils sont disponibles en configurations magnétiques équilibrées et déséquilibrées, proposées sous forme circulaire ou rectangulaire.
Les systèmes de dépôt par pulvérisation de format compact de Plasmionique combinent harmonieusement l’efficacité d’un format de table avec l’adaptabilité et les options de mise à niveau de leurs modèles plus grands.
Les systèmes mesurent généralement 46 pouces de hauteur, 30 pouces de largeur et 25 pouces de profondeur, et possèdent les caractéristiques suivantes :
- Chambre de dépôt ayant un diamètre de 8 à 10 pouces et une hauteur d’environ 14 pouces.
- Système de pompage avec une vitesse nominale de 80 à 300 L/s. Pression de base du bas 10⁻⁶ Torr au moyen 10⁻⁷ Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
- Alimentation de pulvérisation programmable (500 W), DC/DC pulsé (1 kW), ou un générateur RF (300 W) avec son adaptateur d’impédance automatique. Alimentation contrôlée par ordinateur.
- Inclusion de magnétrons refroidis par eau de différentes tailles allant de 1 pouce (jusqu’à 3 magnétrons), ou deux (2) magnétrons de 2 pouces, ou un seul magnétron de 3 pouces.
- Un minimum d’une microbalance à cristal de quartz utilisée pour la mesure de l’épaisseur et le contrôle du taux de déposition.
- Porte-substrats rotatifs avec option de chauffage jusqu’à 300 °C. Tous les circuits de chauffage sont régulés par une boucle PID entièrement configurable avec auto-réglage des paramètres PID, rampe et capacités de limitation de sortie. Optionnellement, un contrôle de mouvement axial (manuel ou automatisé) peut être ajouté.
- Inclusion de substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.
- Incorporation de jusqu’à quatre (4) lignes de gaz de processus et inclusion d’une ligne de mise à l’atmosphère automatisée.
Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. De plus, tous les systèmes ont une option d’intégration de la spectroscopie optique pour la surveillance et le contrôle des processus.
Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 15 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.
Élevez vos capacités de traitement de surface avec les systèmes de format compact de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.
