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Plasmionique propose divers réacteurs à plasma pour le nettoyage, la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et la synthèse de matériaux nanostructurés. Les processus sont réalisés en utilisant du plasma généré par courant continu (DC), haute fréquence (HF), radiofréquence (RF) ou micro-ondes, dans des régimes atmosphériques ou de basse pression.

Les fours CVD horizontaux de Plasmionique ont la possibilité de fonctionner avec une ou plusieurs zones de chauffage. Combinés avec nos systèmes de gestion de flux brevetés, les fours tubulaires d’évaporation thermique offrent une flexibilité inégalée.

Ces systèmes se composent d’un tube en quartz d’un diamètre extérieur d’environ 100 mm ou plus, servant de chambre à vide. Les deux extrémités du tube en quartz sont scellées avec des joints toriques pour la compatibilité avec le vide. Le chargement et le déchargement des échantillons sont généralement réalisés à l’aide de porte-substrats montés sur rails, assurant un placement précis pour une meilleure précision et reproductibilité.

Le tube est enveloppé par des éléments chauffants résistifs intégrés dans un matériau isolant, permettant d’atteindre des températures allant jusqu’à 1100 °C. Diverses configurations de zones, telles que simple, double et triple, sont disponibles pour fournir un contrôle précis de la température ou établir un gradient de température dans le four pendant le processus.

Les fours tubulaires de Plasmionique peuvent intégrer jusqu’à six lignes de gaz de processus, chacune équipée de contrôleurs de débit massique dédiés et de vannes d’arrêt pneumatiques, ainsi qu’une ligne de ventilation de la chambre séparée. De plus, jusqu’à deux lignes d’injection de vapeur de précurseur, avec réservoirs à bulles chauffés, peuvent être incorporées. Tous les gaz sont injectés par une extrémité du four tubulaire, tandis que l’autre extrémité est destinée à la ligne de pompage et aux jauges de pression.

Pour les applications PECVD, une source de plasma couplée inductivement avec des bobines refroidies à l’eau peut être ajoutée en option à une extrémité du tube en quartz. Cette source de plasma peut utiliser une ligne de gaz dédiée ou fonctionner avec certaines des lignes de gaz de processus incluses, offrant une adaptabilité supplémentaire pour répondre à divers besoins de traitement.

Élevez vos capacités de recherche avec les fours tubulaires de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.

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