Format standard

En plus des caractéristiques décrites pour les systèmes EBeam / évaporation thermique de format compact, les caractéristiques suivantes peuvent être incluses :

• Chambres de dépôt conçues sur mesure, ayant un diamètre de 12 pouces jusqu’à 16 pouces et une hauteur d’environ 24 à 30 pouces. En option, des chambres avec des portes d’accès plus grandes équipées d’un double joint torique pompé différentiellement peuvent être ajoutées.
• Station de pompe turbo-moléculaire avec une vitesse nominale de 450 à 2000 L/s. Pression résiduelle dans la gamme du bas 10⁻⁷ Torr au moyen 10⁻⁸ Torr assurant une chambre propre sans composants supplémentaires.
• Sources d’évaporation par faisceau d’électrons à poches multiples refroidies par eau, généralement avec 4 à 6 poches, et creusets ayant un volume nominal de 3 cc à 15 cc.
• Alimentations électriques à semi-conducteurs efficaces allant de 3 kW à 10 kW de puissance.
• Indexeur de creuset automatisé.
• Balayeur de faisceau avec un motif de balayage de faisceau prédéfini.
• Obturateur automatisé.
• Un minimum d’une microbalance à cristal de quartz utilisée pour la mesure de l’épaisseur et le contrôle du taux de dépôt.
• Porte-substrats pour un ou plusieurs substrats allant de 2 pouces à 8 pouces de diamètre.
• Option de contrôle de la position axiale du substrat.
• Option de système de sas de chargement.
• Option de source de faisceau d’ions sans grille.
• Ligne de mise à l’atmosphère automatisée.

Tous les systèmes incluent la possibilité d’automatiser les processus en utilisant des recettes intégrées dans notre logiciel de contrôle PLASMICON. Un système de contrôle avancé est également inclus, permettant l’automatisation complète du processus de dépôt. Grâce à notre système d’acquisition de données et d’un écran tactile convivial de 24 pouces, la surveillance des données en temps réel peut se faire très facilement.

Élevez vos capacités de recherche avec les systèmes de format standard de Plasmionique, où l’innovation rencontre la polyvalence.